二次イオン質量分析(SIMS) 目 次 二次イオン質量分析(SIMS) 浅い不純物注入プロファイルの精確な評価 高濃度層から下層膜への不純物拡散評価 高機能自動化SIMS 高性能磁場型SIMS 3DAP・STEM・SIMSによるLED複合分析 ウェーハベベル評価技術 SiC n-バッファ層の窒素濃度分析 GaNゲート酸化膜の不純物分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P2 ～P5 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P6 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P7 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P8 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P9 ～P10 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P11 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P12 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P13 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P14 略語 3DAP (APT) AFM EDS SIMS STEM TEM TOF-SIMS ：手法・装置名 ： 3 Dimensional Atom Probe (Atom Probe Tomography) (3次元アトムプローブ) ： Atomic Force Microscope (原子間力顕微鏡) ： Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(エネルギー分散型X線分光) ：Secondary Ion Mass Spectrometry(二次イオン質量分析) ：Scanning Transmission Electron Microscope (走査透過電子顕微鏡) ：Transmission Electron Microscope (透過電子顕微鏡) ： Time of Flight - Secondary Ion Mass Spectrometry (飛行時間型二次イオン質量分析) 1
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