非破壊観察 装置ラインナップ 当社では、半導体全般および、各種材料の検査・解析用途の超音波顕微鏡(SAM)・超音波映像装置(SAT)に 加え、大量の試料を検査できる自動搬送型の超音波顕微鏡を所有しています。 この豊富なラインナップにより、目的や試料に応じた最適なサービスをご提供します。 超音波顕微鏡(SAM) 自動搬送型超音波顕微鏡 超音波映像装置(SAT) 試料サイズ 事例1 ウェーハ貼り合わせの密着性観察－反射法－ 光デバイス・高周波デバイス・MEMSデバイスなどで用いられるウェーハ接合において、貼り合わせ部の剥離、 気泡や異物のかみ込みは重大な欠陥になります。 反射像で白色に見えている箇所は、超音波の反射強度が強い 箇所を表しており、接合材のボイドを検出しています。 超音波反射像 接合剤のボイド(気泡) 密着箇所 強度 時間 ゲート 超音波反射波形 3インチウェーハ • 超音波顕微鏡・超音波映像装置 •自動搬送型超音波顕微鏡 ：最大 ：トレー搬送 × 300mm × 135.9mm (JEDEC規格標準サイズ) 300mm 322.6mm 7 17-216b(5)
RkJQdWJsaXNoZXIy NDY3NTA=