非破壊観察 6 17-216b(5) 原理 超音波は、異なる物質へ伝播した際に、一部が反射し、一部が透過します。 この反射波を検出し観察する手法 を反射法、透過波を検出し観察する手法を透過法といいます。観察対象に剥離箇所(空隙)があると強い反射波が 検出され、透過波は検出されません。この性質を利用して観察対象の異常を検出します。 超音波顕微鏡は、非破壊で、観察対象内部の剥離・クラック・ボイド・異物などの欠陥を観察する ことができる手法です。 超音波顕微鏡(SAM) Scanning Acoustic Microscope 観察対象 音響レンズ 平面 スキャン 剥離など ゲート内の強度のピーク値を 基に、カラーバーに合わせた 色付きで画像化することで、 観察対象内部の剥離などの 異常箇所を検出します。 平面スキャンで 画像化 水槽 (純水) 空隙 100％の強い反射 × 無信号(透過しない) 反射法 透過法 音響レンズ＋ レシーバー 音響レンズ＋ レシーバー 音響レンズ＋ レシーバー レシーバー レシーバー ： ： 送反 信射 波波 ：透過波 超音波反射波形の例 時間 密着箇所 水-材料1 界面の反射波 材料1-材料2 界面の反射波 強度 - + 0 ゲート 強ピ 度ークの 剥離箇所 時間 強度 - + 0 強ピ 度ークの ゲート
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