非破壊観察 2 17-216a(6) 原理 磁場顕微鏡は、試料を破壊せずに試料内部の電流から生じる外部磁場分布を測定し、数学的 な処理を施して、電流経路を推測し可視化する技術です。 半導体や電子部品の不具合箇所の特定や、新素材の電流分布の測定に有効です。 磁場顕微鏡 Magnetic Field Microscope TMR: Tunnel MagnetoResistance MI: Magneto Impedance 電流が流れると、その周りには、右ねじの法則に従い磁場が発生します。 磁気センサは決まった方向の磁場を 検出するため、その方向および強度の情報から、電流経路や電流分布を推測することができます。 電流および磁気センサの向きと測定面での磁場強度の関係 センサの向き (z方向) 電流：I H Hz 測定面 x z センサの向き (x方向) 測定面 x z Hx H 電流：I x Hx 磁場強度 電流：I 0 ＋ － x Hz 磁場強度 電流：I 0 ＋ － Hx磁場分布像 Hz磁場分布像 ＋ － 0 ＋ － 0 電流が作り出す磁場分布 を磁気センサ(TMR/MI)で 測定 電流経路近傍の磁場分布 に再構成し分解能を向上 磁場の変化が大きい箇所を 電流経路と推測し可視化 電流経路像 磁場顕微鏡の構成 磁気センサ 磁場 ( Hz,Hx,Hy ) XYZステージ 走査 電流 測定 対象 制御 コンピュータ 2次元磁場 分布データ XYZ ステージ コントローラ 磁場分布 再構成 X Y Z 最大試料サイズ：A4サイズ(297mm×210mm)×高さ80mm 磁場と電流の関係
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