クリーンルーム環境評価 9 発生ガス分析の概要 発生ガス分析の手法一覧 材料・部材から発生するガスの特性を把握することは、不具合の原因を推定する重要な手段 です。 発生ガス分析には目的や試料形状に応じた様々な手法があります。 当社では、ご希望に 沿った分析手法をご提案します。 • 発生ガス成分の特定 材料・部材から発生する成分の定性・同定を 高感度に行います。 • 発生ガスプロファイル ガスが発生する温度領域の測定に着目し、 ガスの発生挙動を評価します。 材料を特殊なバッグに 入れて封止し、発生した ガスを捕集します。 直接捕集 固体吸着捕集 材料を加熱して 発生したガスを 固体吸着管に捕集 します。 固体 吸着管 発生ガス分析は、下記目的により分析手法が分けられます。 手法 発生ガス成分の特定 発生ガスプロファイル GC/MS Py/TD-GC/MS 固体吸着-加熱脱着 GC/MS SWA-GC/MS TPD-MS TDS 試料形態 サイズ※ 固体・液体 (要相談) 固体・液体 3mmφ×7mm の容器内 固体 • 200mmφ× 50mm • マスク(片面可) ウェーハ • 2～12インチ 1mm(厚さ)まで • 片面可 固体・液体 加熱炉管内径 15mmID× 100mm(長さ)まで 固体 10mm×10mm 4mm(厚さ)まで 試料加熱 雰囲気 He He He He He 高真空 (10-7Pa) 温度 ～300℃ ～800℃ 熱分解/昇温脱離 ～400℃ 昇温脱離 ～700℃ 昇温脱離 ～1,000℃ ～1,400℃ (ステージ温度) 質量範囲 (m/z) 2～1,050 2～1,050 2～1,050 27～1,050 2～800 1～200 特徴 試料を加熱した際 のガス成分を分析 高 分 子 材 料 (ポリマー・添加剤) のキャラクタリ ゼーションに有効 固体吸着剤に 揮発性物質を いったん捕集して 濃縮 固体吸着剤に 揮発性物質を いったん捕集して 濃縮 真空下で脱離し やすい表面吸着 成分などに有効 ウェーハ・金属・ ガラス中の不純物 レベルの評価が 可能 感度 (下限) 10～20ng (H2O換算) 0.1ng (ヘキサデカン換算) 0.1ng (ヘキサデカン換算) 0.1ng (ヘキサデカン換算) 50～200ng (H2O換算) 1～2ng/cm2 (H2O換算) 材料・部材からの発生ガス分析 Evolved Gas Analysis ガス捕集方法(一例) ※実際の試料内容により、ご相談させていただくことがあります 25-020(1)
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