クリーンルーム環境評価 8 事例 フォトレジスト中の金属不純物は、製品の特性に影響を与え、信頼性を低下させる要因となるため、含有量を 可能な限り低減する必要があります。 従来より行われている酸分解などの前処理は、工程が複雑で時間も掛かり、コンタミネーションや目的元素の 損失などのリスクが高く、定量下限が高くなる傾向がありますが、有機溶媒導入システムにより、試料を有機溶媒 に希釈してICP-MSに導入することで、高感度に分析することができます。 フォトレジストの60元素一斉分析 有機溶媒導入ICP-MSは、有機物中の金属不純物をシングルppb(ng/g)オーダで測定でき、 有機試薬中の微量金属不純物の管理に活用できます。 単位 : ng/g 試料 Li B Na Mg Al K Ca Sc V Cr レジスト溶液 ＜2 ＜3 28 ＜3 ＜3 ＜2 ＜2 ＜8 ＜2 ＜4 定量下限 2 3 6 3 3 2 2 8 2 4 試料 Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga As Se Sr レジスト溶液 ＜1 ＜4 ＜1 ＜1 ＜2 ＜7 ＜1 ＜5 ＜8 ＜0.5 定量下限 1 4 1 1 2 7 1 5 8 0.5 試料 Y Zr Nb Mo Ru Rh Pd Ag Cd In レジスト溶液 ＜2 ＜2 ＜2 ＜2 ＜0.5 ＜0.5 ＜2 ＜2 ＜1 ＜1 定量下限 2 2 2 2 0.5 0.5 2 2 1 1 試料 Sn Sb Te Cs Ba La Ce Pr Nd Sm レジスト溶液 ＜1 ＜4 ＜3 ＜1 ＜0.2 ＜3 ＜3 ＜2 ＜2 ＜1 定量下限 1 4 3 1 0.2 3 3 2 2 1 試料 Eu Gd Tb Dy Ho Er Yb Lu Hf Ta レジスト溶液 ＜1 ＜0.5 ＜0.2 ＜2 ＜0.2 ＜1 ＜1 ＜0.5 ＜2 ＜1 定量下限 1 0.5 0.2 2 0.2 1 1 0.5 2 1 試料 W Re Ir Au Hg Tl Pb Bi Th U レジスト溶液 ＜2 ＜2 ＜2 ＜1 ＜2 ＜1 ＜0.2 ＜2 ＜5 ＜2 定量下限 2 2 2 1 2 1 0.2 2 5 2 【結果】 (1) 一斉分析の結果から金属不純物としてNaのみ検出されました。これは、試薬のガラス容器からの溶出と 考えられます。 (2) レジスト中の金属不純物は、ppbレベル以下であり、製品の特性には影響を及ぼさないと推定できます。 16-045(6)
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