クリーンルーム環境評価 7 16-045(6) 原理 特徴 半導体や液晶などで使用される有機溶媒やレジスト、一般的な潤滑油やオイル、印刷用インク ・塗料などの有機物を酸処理せずにそのまま、または有機溶媒で希釈してICP質量分析装置 (ICP-MS)で測定することにより、有機物中に含有される微量金属の定性・定量分析ができます。 ICP-MSは、高温のアルゴンプラズマ炎(6,000～10,000K)中に､溶液化した試料を導入し、全元素を同時に 励起･イオン化し、質量分析装置で測定する装置です。 通常は酸などを添加した水溶液を対象としていますが、 試料が有機溶媒の場合、プラズマが不安定になって測定ができないことや、不完全燃焼による導入系への煤の 付着による目詰まりやカーボン由来の妨害などにより、測定が困難でした。 最新のICP-MSでは、キャリアガス(Ar) に少量の酸素を混合し、プラズマ内で有機物を燃焼させることで、プラズマが安定化するとともに、イオン化効率 の低下やカーボン由来の妨害も低減する機構になっています。 • 多くの有機溶媒1)に対応 1) 粘性の高い試料は希釈して導入します • 固体は有機溶媒に溶解して測定2) 2) 固体有機物については溶媒が限定されますので要相談 冷却ガス(Ar) プラズマガス(Ar) キャリアガス(Ar)＋酸素(O2) エアロゾル試料 測定が可能な有機溶剤 ※下表以外はご相談ください 有機物中の金属不純物分析 Trace Metal Analysis in Organic Materials 有機物名 主な用途 アセトニトリル 有機合成原料・精製溶媒・抽出蒸留溶媒・分析装置用溶離試薬など アセトン 塗料用・接着剤用の溶媒、洗浄用・脱脂用の溶媒など イソプロピルアルコール(IPA) 消毒・清掃用品、洗浄用の溶媒、燃料用水抜き剤など エタノール 洗浄用の溶媒、有機合成原料・消毒剤・燃料など n-2-メチル-ピロリドン(NMP) 電子部品洗浄・半導体部品洗浄、リチウム二次電池部材の製造用溶剤など キシレン 農薬用・塗料用の溶媒、染料・香料などの原料、可塑剤の原料、医薬品用溶媒など ケロシン ジェット燃料・ロケット燃料・暖房燃料など 酢酸エチル 塗料用・印刷インク・接着剤・医薬品原料の溶媒など ジイソブチルケトン(DIBK) 塗料用・エポキシ樹脂用の溶媒など ジメチルアセトアミド(DMAC) 合成樹脂用・合成繊維用の溶媒など N,N-ジメチルホルムアミド(DMF) 石油化学工業用抽出溶媒・アクリル繊維(ポリアクリルニトリル)合成用溶媒など テトラヒドロフラン(THF) 表面コーティング用・接着剤用の溶媒、印刷インク用溶媒など トルエン ペンキ・塗料用溶媒、ゴム・印刷用インク、接着剤・化粧品用溶媒など n-ヘキサン 食用油脂抽出用溶媒、接着剤用・塗料用の溶媒など ベンゼン 染料用・医薬品用・農薬用の溶媒、化学製品の合成となる原料溶媒など メチルエチルケトン(MEK) 塗料用・接着剤用の溶媒、印刷インク用溶媒、有機合成の原料となる溶媒など メタノール 接着剤用・脱脂用の溶媒、燃料用の溶媒など メチルイソブチルケトン(MIBK) 塗料用・インク用溶媒、医薬品用・農薬用薬、化粧品用の溶媒など レジスト フォトレジスト・スクリーン印刷レジスト・エッチングレジスト・めっきレジストなど
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