クリーンルーム環境評価 μg/m3 0 1 2 3 F 酢酸ギ酸 Cl NO2 Br NO3 SO4 PO4 NH4 露光装置周辺環境中の有機物評価 ウェーハ捕集・マスク捕集と、吸着剤捕集では、捕集対象となる有機成分の特性が異なります。 ウェーハ捕集・マスク捕集は高沸点・難揮発性、吸着剤捕集は低沸点・揮発性・低極性の成分の捕集に適しています。 分析対象と検出感度 事例 ウェーハ捕集 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 リテンションタイム(min) アバンダンス DOP DOA TCEP DBP 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 吸着剤捕集 アバンダンス リテンションタイム(min) トルエン DOP キシレン 2-エチル-1-ヘキサノール ノナナール BHT DOP 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 マスク捕集 アバンダンス リテンションタイム(min) DBP DOA 2-エチル-1-ヘキサノール ノナナール TCEP ケミカルフィルターによるイオン不純物除去効果 酸・塩基を除去するケミカルフィルターについて、フィルター 前後の大気を採取し、イオンクロマトグラフで測定することで フィルターの除去能力を確認できます。 クリーンブース中金属不純物評価 ウェーハ捕集法は、液体捕集法と比較して長時間の採取が 容易になるため、捕集量を増やすことができます。 気中濃度は 得られませんが液体捕集法で見られなかった差を確認できます。 Na Mg Al K Ca Fe Cu 外気取込口 atoms/cm2 メタル室 イオン室２ イオン室１ ウェーハ捕集 1E+12 1E+11 1E+10 1E+09 pg/L メタル室 イオン室２ イオン室１ 8 4 0 液体捕集 12 対象不純物 主な存在形態 挙動 捕集方法 インピンジャー ※1 吸着剤 ※2 ウェーハ※3 分析方法と感度 ICP-MS IC GC/MS ICP-MS IC GC/MS メタル パーティクル ULPAフィルターで 除去可 10ng 0.1ng 塩基 (アンモニア) ガス ULPAフィルターで 除去不可 10ng 10ng 酸 (HCl, HFほか) 10ng 10ng 有機物 1ng 10ng ※1 インピンジャー：1800L捕集時 ※2 吸着剤：15L捕集時 ※3 ウェーハ：100mL純水抽出時 4 26-015 ■ケミカルフィルター前(入口) ■ケミカルフィルター後(出口)
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