クリーンルーム環境評価 13 17-058n12(4) FOUP内汚染評価 Evaluation of Spatial Contamination in FOUP ウェーハ外周部の汚染分析 FOUP内部の汚染分析 装置内ではウェーハの搬送において、プロセスチャンバー内の汚染の引きずり、ウェーハ自体 に含まれる電極などの金属、装置からのダストなどコンタミネーションを発生する汚染源が多様 です。 ウェーハの外周部に汚染が見られる例も多く、FOUPのスロットなども清浄度管理が 必要な状況が生じます。 ウェーハ外周の局所、FOUP内全体または局所の汚染確認のための 分析サービスをご提供します。 ベアシリコンウェーハだけでなく、パターン付ウェーハも、自動回収装置および拭き取り法により、局所の汚染 を回収し、べベル部や任意の平坦部などのエリアの汚染状況を確認することが可能です。 細分化分析 (不純物の面内分布の詳細が調査可能) ベアシリコンウェーハ クロスコンタミ 自身からの汚染 金属膜・パターン付ウェーハも ベベル部汚染の回収可能 金属膜付ウェーハ 拭き取り法による回収 べベル部など、ウェーハ外周部の汚染はFOUP内の汚染とも関連が深い場合があります。 内部の全体、または 局所について、直接サンプリングを行います。 また、FOUP内にウェーハを放置、あるいは、その他の吸着剤を 用いることにより、接触部位だけでなく発生ガスの確認も可能です。FOSBも同様に対応可能です。 イオン・メタル不純物 ：有機溶剤成分・環状シロキサン・ フタル酸エステル系成分・油分 ：GC/MS (ガスクロマトグラフィー質量分析) 有機不純物 • 対象 • 分析手法 純水・酸類・溶媒などを用いて 任意のスロットの汚染成分を回収 純水・酸類・溶媒などを用いて FOUP内全体の汚染成分を回収 清浄なウェーハを投入して 転写された汚染成分を回収 有機成分用吸着剤を投入し 内部の発生ガスを採取 内 壁 全 体 特 定 ス ロ ッ ト ウェーハへの転写 吸 着 剤 捕 集 • 対象 • 分析手法 • 対象 • 分析手法 ：イオン成分⇒ F-,Cl-,NO2 -,NO3 -,SO4 2-,PO4 3-、 ギ酸・酢酸・NH4 +・アミン類など ：IC (イオンクロマトグラフィー) ：メタル成分⇒ Na,Fe,Cr,Cuなど ：ICP-MS (誘導結合プラズマ質量分析) FOSB：Front Opening Shipping Box (300mmウェーハ用保管・搬送容器) FOUP：Front Opening Unified Pod (前面開閉式300mmウェーハ用保管・搬送容器)
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