太陽電池の故障解析Failure Analysis on Photovoltaic Cell
太陽電池では、EL(Electro Luminescence)法を用いて、物理的なマイクロクラックや、目に見えない電流リーク箇所を検出することが広く行われています。電流のリ－ク原因としては、結晶欠陥や拡散異常などが挙げられます。
EL法で特定したリーク箇所は、高位置精度でマーキングすることで透過電子顕微鏡(TEM)で結晶欠陥の有無を、走査型静電容量顕微鏡(SCM)で拡散層の異常の有無を観察できます。
