STEM-EELSを用いた故障解析Failure Analysis using STEM-EELS
EELSはEDSと異なり、元素情報だけではなく、元素の結合状態も判断することができます。LSIのコンタクト不良で観察された銅配線間の高抵抗箇所(コンタクト近傍)について、STEM-EELSにより結合状態を評価した事例をご紹介します。
STEM: Scanning Transmission Electron Microscope 走査透過電子顕微鏡
EELS: Electron Energy Loss Spectroscopy 電子エネルギー損失分光