TOF-SIMSによる有機薄膜の深さ方向分析Structural Analysis of Thin Organic Film by TOF-SIMS

TOF-SIMSは、感度良く有機、無機成分の情報を得る手法として知られています。しかしながら、有機薄膜の深さ方向の評価をする際、従来のCs、O₂などのスパッタイオンを使用すると化学構造を壊してしまうため、有効な情報は得られません。
今回はGCIB(ガスクラスターイオンビーム)を用いて最適な条件でスパッタすることで、有機薄膜でもダメージを少なく評価することが可能となりました。