薄膜物性評価

研究開発から製造技術における様々な薄膜材料について
その物理的構造や特性を種々の分析手法を用いて明らかにします

高温X線回折(高温XRD)
高温X線回折(高温XRD)

HfOx薄膜の高温XRD測定結果
HfOx薄膜の高温XRD測定結果

昇温脱離ガス分析(TDS)
昇温脱離ガス分析(TDS)

TDSによるシリコン酸化膜中からの脱離水評価
TDSによるシリコン酸化膜中からの脱離水評価

Physical Property Evaluation of Thin Films / English

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