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【発表・出展しました】SSDM2017(2017/9/20〜9/22)

 東芝ナノアナリシスは、2017年9月20日(水)〜22(金)に開催された、SSDM2017にて発表(ポスターセッション)およびポスター展示をしました。

<発表(ポスターセッション)した技術内容>
◎ポスターセッション(展示棟1階 展示室2・3)
 ・A Practical Method for Atom Probe Tomography (APT) – Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Correlative Analysis

<ポスター展示でご紹介した技術内容>
◎ポスター展示(会議棟2階)
 ・3次元アトムプローブ解析技術
 ・3次元半導体デバイスのナノスケール解析
 ・3DAPとEPMAを用いたLED用蛍光体分析
 ・接合部の組成・結晶性・応力評価

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