レジストパターンの断面形状観察Cross-section Observation of Resist Patterns
複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有するイオンミリング技術により、ダメージのない断面加工をすることで、広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能です。
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- レジストパターンの断面形状観察
広範囲・複数パターンの観察
- 3軸のイオン源を用いることで1軸のタイプよりも加工幅が広く、複数のパターン(写真は4パターン)の断面形状を確認できます。
- 冷却しながら加工することで、レジストにダメージを与えません。
任意の方向からの観察
断面SEM像
形状の異なる方向から加工することにより、おのおのの断面形状を確認することができます。
※試料ご提供元：株式会社コシブ精密 様
[ 更新日:2024/02/26 ]
