微小部特異成分のイメージングIRによる分析Identification of Specific Components for Micron Area using Imaging FT-IR

FT-IR(フーリエ変換赤外分光)を用いると分子内の結合情報を得ることができます。
イメージングIRは、特定の結合について2次元の分布を得ることができ、材料中の微小な異物や多層薄膜の組成、シミなどの分析に有効です。
また、ATR(全反射)法では数μmの空間分解能で分析が可能です。

特徴

  • ATR法 1)は数μmの空間分解能での分析が可能
    視野は固定で32μm×32μm 2)
  • 透過法、反射法の空間分解能は約10μm
    視野は固定で170μm×170μm 2)
  • 一度に64×64ピクセルを測定し、ピクセル単位でスペクトルを表示できます。

2次元空間における官能基の分布

1)凹凸のある試料、軟らかい試料は適用できない場合があります。

2)測定領域が広い場合は、複数回測定して重ね合わせます。

事例 (Siウェーハ上の指紋)

Siウェーハ上の指紋を透過法で測定しました。

試料測定エリア

 

黄色矢印部分のスペクトル抽出

タンパク質と同定

1567cm-1〜1492cm-1のピーク分布

タンパク質と同定

 

脂肪酸エステルと同定

3075cm-1〜2794cm-1のピーク分布

脂肪酸エステルと同定

適用

 
  • 微小異物の分析
    (液晶パネル中浮遊異物・インクジェットノズル内異物・フィルム内異物など)
  • ラミネートフィルムの断面成分分析
  • 塗膜界面の添加剤の偏析
  • フィルム表面官能基の分布

関連情報

[更新日:2017/09/13]

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