薄膜物性評価

研究開発から製造技術における様々な薄膜材料について
その物理的構造や特性を種々の分析手法を用いて明らかにします

内容

  • 極薄膜(nmレベル)の結晶構造解析
  • 微小部における結晶構造の同定
  • 薄膜材料の密度・膜厚・ラフネスおよび相分離(粒径など)
  • 薄膜材料からの脱離ガス分析
  • 薄膜積層膜における密着性評価
  • 化学分析による薄膜評価(組成不純物)

事例

主要設備

高温X線回折(高温XRD)
高温X線回折(高温XRD)

HfOx薄膜の高温XRD測定結果
HfOx薄膜の高温XRD測定結果

昇温脱離ガス分析(TDS)
昇温脱離ガス分析(TDS)

TDSによるシリコン酸化膜中からの脱離水評価
TDSによるシリコン酸化膜中からの脱離水評価

Physical Property Evaluation of Thin Films / English

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