表面解析

表面の化学組成、結合状態や不純物分布などを詳しく調べ
研究開発および製造プロセス・不良解析に役立つ情報をご提供します

極低加速電圧走査電子顕微鏡(ULV-SEM)
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自動化二次イオン質量分析(SIMS)
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半導体チップのSIMSデータ
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抽出した領域の深さ方向分布
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Surface Element Analysis / English

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